冷形變后的金屬在低于再結晶溫度加熱，以去除內應力，但仍保留冷作硬化效果的熱處理，稱為去應力退火，也稱低溫退火。 在去應力退火中金屬組織及性能的變化，相當于溫度曲線圖中的恢復階段。在實際生產中，去應力退火工藝的應用比上述定義廣泛得多。熱鍛軋、鑄造、各種冷變形加工、切 削或切割、焊接、熱處理，甚至機器零部件裝配后，在不改變組織狀態，保留冷作、熱作或表面硬化的條件下，對鋼材或機器零部件進行較低溫度的加熱，以去除內應力，減小變形開裂傾向的工藝，都可稱為去應力退火。